ビームプロファイラー

HRDのビームプロファイラーは加工焦点位置で測定を行うのでレーザー加工時にワークに照射されるビームと同じ真のビームプロファイルを測定できます。

出⼒及びセンサー感度に応じてレーザーの減衰が可能になっており、拡⼤結像光学系はΦ10μmに対応、スキャンヘッドから斜めに照射されたビーム(24°以下) でも平⾏光な測定⾯で計測できます。

ビームプロファイラの特徴

▶ 加⼯焦点位置での測定が可能

▶ 測定可能な最⼩スポット径はΦ10μm

▶ ガルバノ光学系など垂直⼊射でないレーザー光も測定可能
▶ 測定素⼦はプロファイラメーカーを使⽤し信頼性が⾼い
▶ リアルタイム計測で焦点の絶対位置を取得可能
▶ 出⼒1kW の⾼出⼒にも対応可能

シングルモードファイバーレーザーの普及に伴い微細径
プロファイル計測の必要性も多くなってます

観察光学系内に減衰プリズムを設置したL 字配置光学系よりシングルモードファイバーレーザで集光した微細なスポット(Φ10μm 程度) も測定できます。

出⼒及びセンサー感度に応じてミラーの枚数及びND フィルターを組合わせて減衰させます。拡⼤結像光学系はΦ10μmに対応し、スキャンヘッドから斜めに照射されたビーム(24°以下) でも平⾏光な測定⾯で計測できるようにしています。この結果、ピンホールスキャンタイプやCCD タイプで測定できなかった、出⼒250Ｗ以上のレーザープロファイルをリアルタイムで計測可能となり、フォーカスの絶対位置が分かるようになりました。

内部構造概要図

ビームダンパでエネルギーを吸収することで溶接時と同じ出⼒でビームプロファイルを測定可能